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YAG激光器用于半導(dǎo)體處理

更新更新時(shí)間:2019-06-25 點(diǎn)擊次數(shù):1667
   根據(jù)客戶選定的功率調(diào)節(jié)范圍任意調(diào)節(jié)頻率可調(diào)激光器:可調(diào)制式激光器也就是YAG激光器。激光器分為外調(diào)制和內(nèi)調(diào)制兩大類。YAG激光器留有的信號(hào)接口,由用戶接入脈沖信號(hào),信號(hào)可以是正弦波, 也可以是方波,調(diào)制頻率可高達(dá)10MHz。YAG激光器不需要外接信號(hào),加上工作電壓后,激光器即以脈沖方式工作,其工作頻率根據(jù)用戶要求定做。
 
  激光工作物質(zhì)是指用來(lái)實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)并產(chǎn)生光的受激輻射放大作用的物質(zhì)體系,有時(shí)也稱為激光增益媒質(zhì),它們可以是固體(晶體、玻璃)、氣體(原子氣體、離子氣體、分子氣體)、半導(dǎo)體和液體等媒質(zhì)。對(duì)激光工作物質(zhì)的主要要求,YAG激光器是盡可能在其工作粒子的特定能級(jí)間實(shí)現(xiàn)較大程度的粒子數(shù)反轉(zhuǎn),并使這種反轉(zhuǎn)在整個(gè)激光發(fā)射作用過(guò)程中盡可能有效地保持下去;為此,要求工作物質(zhì)具有合適的能級(jí)結(jié)構(gòu)和躍遷特性。
 
  YAG激光器激光用于半導(dǎo)體處理,特別是半導(dǎo)體表面退火,是一種有希望的應(yīng)用,潛在的市場(chǎng)是很大的。激光處理比常規(guī)熱處理的優(yōu)點(diǎn)是能夠紡織退火期間參雜劑的再分布,同事保持適當(dāng)?shù)脑俳Y(jié)晶和參雜劑活化。準(zhǔn)分子激光能對(duì)樣品均勻照射,而且準(zhǔn)分子激光的光譜相當(dāng)?shù)膶挘蚨喔砷L(zhǎng)度相當(dāng)短,使得樣品中的干涉效應(yīng)減到zui小,而在以往的激光退火中,這時(shí)難以解決的問(wèn)題。準(zhǔn)分子激光的紫外波長(zhǎng)很適于退火樣品的薄層穿透,準(zhǔn)分子激光還可以聚焦成微米級(jí)尺寸進(jìn)行材料處理。
 
  光纖激光切割機(jī)具有高的電光轉(zhuǎn)換效率,其電光轉(zhuǎn)換效率達(dá)25%,比傳統(tǒng)激光切割機(jī)的電光轉(zhuǎn)換效率高出數(shù)倍,而綜合運(yùn)行費(fèi)用卻僅為傳統(tǒng)激光切割機(jī)的15%。同時(shí),光纖激光切割機(jī)體積較小,其激光發(fā)生器的占地面積不到1平方米,整體占地面積約50平方米,為傳統(tǒng)激光切割機(jī)的三分之二。所以,在激光器的選擇上,要考慮到各種參數(shù),以及自身的實(shí)際需要,只有這樣,才能讓激光器發(fā)揮出它的zui大效能。
 
  相對(duì)于YAG激光器的優(yōu)點(diǎn):
 
  1、光纖的可繞性所帶來(lái)的小型化、集約化優(yōu)勢(shì)。
 
  2、細(xì)長(zhǎng)的光纖具有降低的體積面積比,散熱快、損耗低。
 
  3、由于光纖激光器的諧振腔內(nèi)無(wú)光學(xué)鏡片,具有免調(diào)節(jié)、免維護(hù)、高穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn),這是傳統(tǒng)YAG激光器*的。
 
  4、光纖導(dǎo)出,使得激光器能輕易勝任各種多維任意空間加工應(yīng)用,使機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計(jì)變得非常簡(jiǎn)單。
 
  5、勝任惡劣的工作環(huán)境,對(duì)灰塵、震蕩、沖擊、濕度、溫度具有很高的容忍度。
 
  6、高的電光效率:綜合電光效率高達(dá)20%以上,大幅度節(jié)約工作時(shí)的耗電,節(jié)約運(yùn)行成本。
 
  利用準(zhǔn)分子激光的良好聚焦作用,通過(guò)激光引發(fā)光化反應(yīng),使表面出現(xiàn)微米量級(jí)的沉淀或蝕刻。例如,用波長(zhǎng)為193毫微米的氟化氬準(zhǔn)分子激光在樣品表面光解三氯化硼,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了單晶硅和多晶硅的摻雜。此外,用脈寬為7豪微秒的準(zhǔn)分子激光瞬間熔化表面,可使摻雜劑擴(kuò)散到幾千埃的深度并使摻雜劑*活化。采用這種技術(shù)制造的太陽(yáng)能電池,轉(zhuǎn)換效率約為13-14%。
 
  準(zhǔn)分子激光器在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域使用:
 
  在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中使用的激光器種類非常多,常用于眼科治療的主要有紅寶石激光、氬離子激光、氪離子、染料激光、摻釹釔鋁石榴石激光和氟化氬準(zhǔn)分子激光等固體、氣體和液體的激光器,用連續(xù)的、脈沖的和調(diào)Q的方式,治療眼底部色素膜和屈光間質(zhì)等部位的數(shù)十種有關(guān)眼部疾病。眼科使用的準(zhǔn)分子激光, 是以氬氣和氟氣為工作氣體產(chǎn)生的激光。所謂準(zhǔn)分子激光,是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光,波長(zhǎng)范圍為157~353nm,所屬紫外激光波段。用于臨床的氟化氬混合物產(chǎn)生的波長(zhǎng)為193nm的超紫外冷激光。波長(zhǎng)為193nm的ArF準(zhǔn)分子激光,進(jìn)行屈光手術(shù)的機(jī)理就是光化學(xué)效應(yīng)。準(zhǔn)分子激光單個(gè)光子的能量大約是6.4eV,而角膜組織中肽鍵與碳分子鍵的結(jié)合能量?jī)H為3.6eV。當(dāng)其高能量的光子照射到角膜,直接將組織內(nèi)的分子鍵打斷,導(dǎo)致角膜組織碎裂而達(dá)到消融切割組織的目的,并且由于準(zhǔn)分子激光脈寬短,又是光化學(xué)效應(yīng)切除。因此,對(duì)切除周?chē)M織的機(jī)械損傷和熱損傷小。
 
  用這種刀施行光切術(shù),其切割精度可達(dá)到μm級(jí),其刀口損傷范圍僅達(dá)nm級(jí),而且由于無(wú)熱效應(yīng)而不會(huì)損傷鄰近組織。所以現(xiàn)已運(yùn)用于角膜手術(shù),如角膜屈光手術(shù)、角膜疤痕去除等。YAG激光器既可做平面切割,也可做斜角切割加工,且邊緣整齊、平滑,適用于金屬板、玻璃等高精度的切割加工。比起普通二氧化碳激光切割機(jī)更節(jié)省空間和氣體消耗量,光電轉(zhuǎn)化率高,是節(jié)能環(huán)保的新產(chǎn)品,也是世界上技術(shù)產(chǎn)品之一。
 
  YAG激光器內(nèi)部裝有氪燈和YAG晶體棒,分別套入通水管,通水后以水冷方式進(jìn)行冷卻。腔體反射鍍金處理。由于輸入激光功率需要高聚效率和鍍金膜層高反射率,所以在特殊情況下需要定期對(duì)石英玻璃管和金屬腔體進(jìn)行專業(yè)性的潔凈處理,以清除古典濾光管內(nèi)外的水污垢和鍍金膜層的雜質(zhì)或水份。
 
  YAG激光器可廣泛應(yīng)用于各類各種木工鋸機(jī)加工,能起輔助標(biāo)線與定位作用,如單片縱鋸機(jī),多片縱鋸機(jī),四邊鋸,推臺(tái)鋸,多片鋸等多種木工機(jī)械。該產(chǎn)品打出一條明亮的紅線,工作人員鋪布等需準(zhǔn)直的時(shí)候,起到定位準(zhǔn)直的作用,提高鋸木板的精度,大大提高工作效率。
 
  目前,YAG激光器已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化,可以生產(chǎn)幾十至幾百毫瓦的連續(xù)紅光、綠光和藍(lán)光。微片激光器腔長(zhǎng)較短,容易實(shí)現(xiàn)光束質(zhì)量好、光強(qiáng)亮度大的單縱模單頻激光輸出,在生物醫(yī)療領(lǐng)域已逐漸替代氬離子激光器。
 
  其中,YAG激光器采用美國(guó)高品質(zhì)激光二管為核心器件,將新的通訊類激光器的制作設(shè)備工藝及技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)類激光器的生產(chǎn)中,可電議零貳玖-陸捌伍捌壹柒零捌制作出的高性能工業(yè)應(yīng)用激光器。得到國(guó)內(nèi)外眾多毛巾印花廠商的廣泛采用應(yīng)用。產(chǎn)品性能穩(wěn)定,使用壽命長(zhǎng)、性價(jià)比高。

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